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              產品展示

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              大范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY

              • 產品型號:
              • 產品時間:2023-03-03
              • 簡要描述:室溫 &#183;壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征
              • 產品介紹

              室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征


              ?范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產品特?

              • 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um;

              • 閉環定位精度優于 1nm;

              • 最?負載 500 g;

              • 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案;

              • ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級


              Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術參數
               

              可選版本 ?

              正常版本

              .NM     絕對?磁版本;

              .HV,     ?真空版本 ;

              .UHV ,超?真空版本;

              1           底?尺?*?度

              180 mm × 150 mm × 20 mm

              2           主體材料

              鋁合?

              3            中空透孔

              80 mm × 60 mm

              4           運動?程

              200 um × 200 um

              5            閉環分辨率

              優于1nm

              6           推薦最?負載

              500 g

              7            閉環傳感器

              電容式

              8            電容精度

              0.3 nm

              9           壓電電容(X, Y)

              6.5 uF

              15 到 40 攝?度

              10          推薦使?溫度

              11          質量

              1 kg

              12          安裝

              螺紋孔?動兼容 Carrier.L7550.XY

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