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              產品展示

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              大范圍壓電掃描臺Carrier.L7550.XY

              • 產品型號:
              • 產品時間:2023-03-03
              • 簡要描述:室溫 &#183;壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程載物臺 — 精密光學,半導體表征
              • 產品介紹

              室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ 大行程載物臺 — 精密光學,半導體表征


              產品特?

              • XY ?向??程 75 mm × 50 mm

              • 最?步伐尺?約20 nm

              • 最?速度 20 mm/s

              • 閉環傳感,空間分辨率 100 nm / 10 nm

              • 全?程運動中,保證通孔 85 mm × 65 mm

              • ?持?磁 ( .NM ) & 超?真空 ( .UHV )

              • 主體鋁合?(硬質氧化發?)


              2D ·尺?圖


              Carrier.L7550.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術參數

               

              可選版本 ?

              正常版本

              .NM

              .HV

              .UHV

              .NM     絕對?磁版本;

              .HV,     ?真空版本 ;

              .UHV ,超?真空版本;

              1        運動?向

              X   Y

              2        外形尺?

              250 mm × 200 mm × 30 mm

              3        必須安裝空間

              325 mm × 250 mm

              4        有效穿孔

              85 mm × 65 mm

              5        主體材料

              鋁合?

              6        線纜 & 接頭

              標準屏蔽線纜

              DSub9 接頭

              kapton漆包線,

              PEEK-2mm插針

              7        ?作溫度

              10 – 40 °C

              運動參數-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

              8        運動?程

              75 mm × 50 mm

              9        最?速度

              ~ 20 mm/s

              10       最?步伐

              ~ 30 nm

              11       驅動頻率

              Max. 20 kHz   (超安靜運動)

              12       最?負載

              2 kg

              13       全?程俯仰/偏擺

              0.8 mrad

              傳感精度

              14       位置傳感類型

              - 電阻型傳感( .R )

              - 光柵尺傳感( .O )

              75 mm × 50 mm

              15       位置傳感量程

              - 電阻型傳感( .R ),   100-200 nm

              - 光柵尺傳感( .O ),   10 nm,   1nm可選(默認 10nm)

              16       位置傳感分辨率

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